GB/T 26112-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则

本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。

本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

标准编号：GB/T 26112-2010

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则

英文名称：Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

起草单位：天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院

起草人员：胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥

文件格式：PDF

文件页数：12页

文件大小：5.25MB