SJ 21319-2018 涂胶设备工艺验证方法

本标准规定了涂胶设备工艺性能的验证条件、验证方法等内容。

本标准适用于涂胶设备(以下简称涂胶机）工艺性能的验证。

标准编号：SJ 21319-2018

标准名称：涂胶设备工艺验证方法

英文名称：Technological verification methods for spin-coating platform

发布部门：国家国防科技工业局

发布日期：2018-01-18

实施日期：2018-05-01

文件格式：PDF

文件页数：10页

文件大小：2.09MB