T/CEMIA 015-2018 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。

本标准适用于光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗，光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷等液体化工产品容器的清洗可参照使用。

标准编号：T/CEMIA 015-2018

标准名称：光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

英文名称：Technical specification for container cleaning of silicon tetrachloride for optical fiber preform

发布部门：中国电子材料行业协会

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-03-28

起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、中天科技精密材料有限公司、上海正帆科技股份有限公司、青海中利光纤技术有限公司、江苏亨通光导新材料有限公司、通鼎互联信息股份有限公司、威海长和光导科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、多晶硅材料制备技术国家工程实验室

起草人员：赵雄、严大洲、王磊、赵宇、郭树虎、陈娅丽、李东升、谢康、肖华、蒋锡华、于景明、莫杰、万烨、常欣、梁君、周小红、汤剑波、卫晓明、刘见华、张园园

文件大小：226.67KB

文件格式：PDF

文件页数：5页

标准全文下载：

封面截图如下：