SJ 21102-2016 氮化铝压电薄膜通用规范

本规范规定了氮化铝(AlN)压电薄膜(以下简称压电薄膜)的通用要求、质量保证规定和交货准备等。

本规范适用于层状氮化铝压电薄膜复合材料。

标准编号：SJ 21102-2016

标准名称：氮化铝压电薄膜通用规范

英文名称：General specification for piezoelectric aluminum nitride films

发布部门：国家国防科技工业局

发布日期：2016-01-19

实施日期：2016-03-01

文件格式：PDF

文件页数：24页

文件大小：7.50MB