SJ 21170-2016 MEMS 惯性器件介质薄膜生长工艺技术要求

本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中介质薄膜生长的工艺流程、工艺要求和检验要求。

标准编号：SJ 21170-2016

标准名称：MEMS 惯性器件介质薄膜生长工艺技术要求

英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device dielectric thin films deposition process

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2016-12-14

实施日期：2017-03-01

起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所

文件大小：2.61MB

文件格式：PDF

文件页数：12页

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