SJ 21475-2018 磷化铟单晶片几何参数测试方法

本标准规定了磷化铟单晶片直径、主、副参考面长度、厚度、总厚度变化、总指示读数、翘曲度弯曲度等几何参数的测试方法。

本标准适用于50 mm~150mm磷化钢单晶片几何参数测试。

标准编号：SJ 21475-2018

标准名称：磷化铟单晶片几何参数测试方法

英文名称：Test methods for geometric parameters of InP wafers

发布部门：国家国防科技工业局

发布日期：2018-12-29

实施日期：2019-03-01

文件格式：PDF

文件页数：10页

文件大小：2.12MB