JJF(鄂) 110-2024 晶圆材料电阻特性测试系统校准方法(片上标准电阻法)

本规范适用于新购进、使用中、修理后的晶圆材料电阻特性测试系统的校准。

标准编号：JJF(鄂) 110-2024

标准名称：晶圆材料电阻特性测试系统校准方法(片上标准电阻法)

发布部门：湖北省市场监督管理局

发布日期：2024-05-14

实施日期：2024-09-01

文件大小：546.92KB

文件格式：PDF

文件页数：14页