JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范

本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准。

标准编号：JJF 1613-2017

标准名称：掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范

英文名称：Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity

发布部门：国家质量监督检验检疫总局

发布日期：2017-02-28

实施日期：2017-05-28

起草单位：中国计量科学研究院

起草人员：任玲玲、高慧芳

文件大小：327.26KB

文件格式：PDF

文件页数：15页