SJ 21166-2016 MEMS 惯性器件划片工艺技术要求

本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中划片的工艺流程、工艺要求和检验要求。

本标准适用于圆片的砂轮划片工艺。

标准编号：SJ 21166-2016

标准名称：MEMS 惯性器件划片工艺技术要求

英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device dicing process

发布部门：国家国防科技工业局

发布日期：2016-12-14

实施日期：2017-03-01

文件格式：PDF

文件页数：9页

文件大小：1.79MB