GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性

本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。

标准编号：GB/T 33523.604-2022

标准名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性

英文名称：Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture:Areal—Part 604:Nominal characteristics of non-contact(coherence scanning interferometry) instruments

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

起草单位：清华大学、天津大学、厦门市计量检定测试院、江苏锐精光电研究院有限公司、中机生产力促进中心有限公司、中国计量大学、北京时代之峰科技有限公司、枣庄有规信息科技有限公司、中机研标准技术研究院(北京)有限公司

起草人员：尉昊赟、郭彤、郑伟峰、陈刚、孔明、郝建国、张宗政、朱悦

文件格式：PDF

文件页数：37页

文件大小：5.67MB