GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语

本标准定义了扫描电子显微术（SEM）实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。

本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析（EPMA）、分析电子显微术（AEM）、能谱法（EDX）等〕。

标准编号：GB/T 23414-2009

标准名称：微束分析 扫描电子显微术 术语

英文名称：Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Vocabulary

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2009-04-01

实施日期：2009-12-01

起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人员：李香庭、曾毅

文件格式：PDF

文件页数：31页

文件大小：10.73MB