GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范

本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。

本规范不包括集成电路及半导体分产器件生产设备联动调试及试生产。

标准编号：GB 50467-2008

标准名称：微电子生产设备安装工程施工及验收规范

英文名称：Code for construction and acceptance of micro-electronics manufacturing equipment installation engineering

发布部门：中华人民共和国住房和城乡建设部

发布日期：2008-12-15

实施日期：2009-07-01

文件格式：PDF

文件页数：69页

文件大小：2.03MB