GB/T 48076-2026 纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量

本文件描述了利用碳纳米管探针测量大深宽比微纳结构的方法,包括基本原理、测试条件和所需设备等,规定了碳纳米管探针的参数范围和对样品的要求,确立了测量步骤。

本文件适用于硬质样品,且深宽比范围在1~10,最小水平线宽不小于碳纳米管直径2 倍的微纳结构测量,其他样品的测量参照使用。

标准编号：GB/T 48076-2026

标准名称：纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量

英文名称：Nanotechnology—Carbon nanotube probe scanning microscopy—Measurement of high aspect ratio micro-nano structures

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

发布日期：2026-08-28

实施日期：2027-03-01

起草单位：西安交通大学、中国计量科学研究院、探真纳米科技（衢州）有限公司

起草人员：杨树明、张国锋、吉培瑞、李适、李伟、崔波、贾宪生

文件格式：PDF

文件页数：17页

文件大小：1.61 MB