GB/T 48096-2026 微机电结构动态位移参数的激光多普勒测量方法

本文件规定了微机电结构动态位移参数激光多普勒测量的原理、测量条件、仪器设备、样品、测量步骤。

本文件适用于微机电结构研制、设计、生产和检测。

标准编号：GB/T 48096-2026

标准名称：微机电结构动态位移参数的激光多普勒测量方法

英文名称：Laser Doppler measurement method for dynamic displacement parameters of micro-electromechanical structures

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

发布日期：2026-08-28

实施日期：2027-03-01

起草单位：浙江舜辉光学科技有限公司、余姚舜宇智能光学技术有限公司、中国计量大学、中国科学院空天信息创新研究院、清华大学、浙江大立科技股份有限公司、杭州士兰微电子股份有限公司、天地伟业技术有限公司、天津大学、歌尔微电子股份有限公司、舜宇集团有限公司、浙江省质量科学研究院、宁波职业技术大学、浙江宇视科技有限公司、苏州明皜传感科技股份有限公司、苏州热工研究院有限公司、北京清华长庚医院、北京航天控制仪器研究所、中国科学院微电子研究所

起草人员：宋云峰、王忠伟、李方浩、王璞、尉昊赟、姜利军、王敏昌、薛超、桑梅、宋青林、劳云峰、姚磊、王正才、邓黄燕、张沛、林磊、胡敏、刘福民、霍树春、陈亮、罗坤杰、朱俊铭、杨哲霖、徐小选、项国平、董洁、吴德林、魏云、费强、周志海、张子怡

文件格式：PDF

文件页数：21页

文件大小：573.67 KB