DB13/T 6137-2025 高纯六氟化钨中杂质的检测

本文件规定了电子工业用气体高纯六氟化钨中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于电子工业用气体高纯六氟化钨中氧+氩、氮气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅、氟化氢、金属元素含量的测定。

标准编号：DB13/T 6137-2025

标准名称：高纯六氟化钨中杂质的检测

发布部门：河北省市场监督管理局

发布日期：2025-05-27

实施日期：2025-06-03

起草单位：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司

起草人员：马茜茜、崔雯、安园园、张露露、滕鑫胜、殷越玲、陈琛、李帅楠

文件大小：641.00KB

文件格式：PDF

文件页数：9页

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